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20250408_吳永俊_奈米電子元件實驗室實驗室簡介

        本實驗室近年來進行前瞻之奈米電子元件研究,重點於高遷移率通道材料低功耗高效能邏輯元件。高遷移率通道鐵電鰭式場效電晶體(FinFET ,N3),鐵電環繞式閘極電晶體(GAAGET,N2),與 互補式場效電晶體(CFET,N1)實驗和三維模擬。實驗部分則是使用使用矽鍺SiGe與 鍺Ge通道的 GAAFET與 CFET,開發出高效能與節能之奈米電子元件,與可多位元操作的鐵電記憶體,與相關3D TCAD元件模擬研究。發表約100篇的國際期刊論文,與數篇相關之台灣與美國專利。

近三年計畫方向為氧化鉿基材之高遷移率通道鐵電鰭式場效電晶體與鐵電環繞式閘極電晶體之實作與三維模擬研究。其具 (1)高開關電流比(ION/IOFF),(2)較低的off-state漏電流,(3)較高的載子遷移率,擁有高的on-state 電流,(4)SS能夠低於物理極限(60mV/dec),(5)HZO能整合至現今CMOS元件製程。 

近年主要研究成果

1.使用Si FinFET結構製造了可多位元操作的鐵電非揮發性記憶體,創造了高密度記憶體,具備高傳輸速度和大的記憶窗口。

2.對Ge堆疊奈米線GAAFET進行了分析,發現它具有更高的汲極電流,並使用TCAD模擬證實了該結構在未來3奈米以下節點的適用性。

3.透過模擬不同比例的SiGe通道,模擬出具有臨界電壓以及電流對稱之CFET

4.利用高遷移率通道材料Ge製作P型奈米線環繞式閘極電晶體在N型Si鰭式電晶體結構之CFET。

先進半導體元件實驗室   國立清華大學 工程與系統科學系


Advanced Nanoelectronic X-FET Devices Labortory       

National Tsing Hua University, Department of Engineering and System Science

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